Master-P510抛光装备是面向先进封装、玻璃基板等领域板级产品的高精度抛光装备，专为满足不大于510mm×515mm 规格板件的超平坦化、低缺陷抛光需求设计。单抛光头，单抛光盘设备维护成本低，工艺切换灵活，无需复杂配套设备。
板级CMP装备
集成多种先进终点检测技术
可实现不大于510mm*515mm尺寸矩形产品兼容
